有什麽方法來提高潔淨室能源利用率
有什麽方法來提高潔淨室能源(yuán)利用率
或許潔淨室過度建設(shè)和過高標準的現狀即將成為過去,至少,目前Lawren Berkeley Labs能源項目(mù)的研究員及經(jīng)理Tengfang(Tim)Xu有辦法改變現狀。“理論上講,氣流速度每提高(gāo)10%,風扇的能耗將增加30%。如果將(jiāng)各種設備等比例縮減到足夠維持汙染控製的低能耗,將節省大量的(de)能源。”作為環境科(kē)學(xué)與技術學(xué)院(IEST)“走近專(zhuān)家”係列課程的一部分,Xu近通過網絡(luò)開設了(le)“潔淨室(shì)設計與運營的可持續發展問題”。課程針對潔淨室和微環境(ME)的規劃、設計、建設、運營直到退出,從可持續發展角度提出了一些列建議和指導方針。
生產設備通常(cháng)消耗整個潔淨室1/3的能量,冷卻和泵浦(pǔ)係統再消耗20%,空氣循環係統消耗另外的20~30%。剩(shèng)餘的部分用於支持去離子水和其它生產用水的水泵、排氣扇、氮氣生成設備及其它輔助設備。潔淨室不同區域實際空氣流速和(hé)氣體交換率可以存在很大差別,有些區域要求單向氣流,而其它區域則不然。
Xu給出了一些實際的例(lì)子:幾乎一半潔淨等(děng)級為4級的潔(jié)淨室還有(yǒu)一部分潔淨等級為3級的ME都存在標準過高的問題,主要表現在當(dāng)前工業準則中 ME的推薦氣體流速和壓強差。對風險的恐懼和過於保守(shǒu)的設計思(sī)想是造成這種標準過高的原因。常見的(de)想(xiǎng)法就是既然某種方案從前可以工作,為什麽還要去(qù)改變呢(ne)?Xu提出在潔淨室規劃階(jiē)段采用分級收集信息的方法,這樣可(kě)以對計劃的(de)決策提供指導,並把能源消耗作(zuò)為一(yī)項重要(yào)的參數考慮進去。同時,針對某些特定係統,Xu給出了一些建(jiàn)議方法(表),這些方法已被(bèi)更新到IEST-RP-CC012.2中。他說:“更好地利用能源,會改(gǎi)善環境質量。對於潔淨(jìng)室來說,從一個產業的角度考慮,能源利用率、設備穩定性、生產效率以及(jí)未來的指(zhǐ)導方針都會對現行方法產生很大(dà)影(yǐng)響。”
同時,Xu還鼓勵讓整個流程中(zhōng)的人員(yuán)參與決策,共同確定諸如:係統的(de)規模(工藝(yì)、機械以及電氣相(xiàng)關人員),低氣壓壓力損失(機械和結構設計人員),和設定具有實際意義的氣體流速要求(qiú)(機械和控製人員(yuán))。
在另一(yī)個實際例(lì)子中:Xu選擇了(le)12種不同型號4×2英尺的風扇,通過比較其能源利用率,發現不(bú)同(tóng)型號之(zhī)間(jiān)存在很大差別,有些甚至不能在要求的工作(zuò)區(qū)間內正(zhèng)常工作。對於HVAC空氣係統(tǒng),需要考慮的測(cè)試項目包括:低氣壓(yā)壓力損失、適當(dāng)的空氣循環係統、空氣交換率、用量控製過濾、風扇效率(lǜ)、風扇過濾單(dān)元以及(jí)排氣係統優化。Xu指出,通過優化ME和潔淨室的(de)空氣流(liú),在保持對顆粒有效過濾的情況下,能量消耗(hào)可以降低10~85%。
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