北京hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的（de）了解還是停留在表麵（miàn）上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室要安（ān）裝初效（xiào）G4+中效F5+中（zhōng）高（gāo）效（xiào）F9+末（mò）端的高（gāo）效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的（de）粒子（zǐ）其濃度不低於99.97%為美（měi）國（guó）的A級（jí）別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來（lái）源（yuán）於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優（yōu）化自身規範和標（biāo）準（zhǔn）

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三（sān）大標準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從（cóng）圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這（zhè）個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的（de）氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的（de）粒子（zǐ）大於這個值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒（lì）子占有的數量（liàng）權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑.這裏也僅僅是（shì）類似，不能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要（yào）對某一種濾料,比（bǐ）如某一種（zhǒng）玻璃纖維做實驗室測試的（de）。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發（fā）單（dān）[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的（de）區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據（jù）現在（zài）EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易（yì）穿（chuān）透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和（hé）粒徑大小沒有直（zhí）接關係，也（yě）就是（shì）計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試的（de）時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內（nèi）的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前（qián）需要明確額（é）定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是（shì）氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同（tóng）凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和（hé）第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐盟（méng）采用後麵四種進行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在（zài）於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒（lì）徑（jìng）值（zhí）。其（qí）實是一（yī）個範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子（zǐ）數量加在一（yī）起（qǐ）就可（kě）以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布（bù）的（de）。隻要標（biāo）準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下（xià）遊收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的（de）要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部（bù）分。這是因為實際的光學粒子計數器有一（yī）個測量精度問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計（jì）量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子分（fèn）析儀,應（yīng）該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試（shì）時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於（yú）測定質量濃（nóng）度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和（hé）H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不（bú）是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此（cǐ）實際的接（jiē）收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑之間的（de）。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的（de）,而不是實際測出來的（de）。規定要求測（cè）至少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的（de）粒徑,所以這更加說明了（le）是粒（lì）子分析隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求（qiú）對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而（ér）對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場中（zhōng）的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵（chén）,由於（yú）其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果就是CMD在（zài）0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的（de）要求了（le）。因（yīn）此要求現場（chǎng）的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說明,總體（tǐ）而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試（shì）結果的分析

由於現場測（cè）試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分（fèn）析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學（xué）相關知（zhī）識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準差