黔南hepa高效過濾器

其實很（hěn）多（duō）人對於高效過濾器的了解（jiě）還是停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過（guò）濾器的一些特性還是（shì）不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其（qí）實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或（huò）者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以（yǐ）前整理的一些筆（bǐ）記，針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優（yōu）化自身規範和標準（zhǔn）

目（mù）前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標（biāo）準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻（zhī）要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當（dāng）中（zhōng）50%的質量大於（yú）這（zhè）個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅（jǐn）是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是（shì）氣溶膠是（shì）單（dān）分散相或者多分散相（xiàng）的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶（róng）膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒（lì）的粒子占有（yǒu）的數量權重雖然（rán）小,但是（shì）質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆（kē）粒直徑.這裏也僅僅是類似，不（bú）能完全等同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高（gāo）效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要（yào）對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃（lí）纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需（xū）要注意（yì）的是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實（shí）際（jì）現（xiàn）場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明的是不（bú）同（tóng）的（de）過濾（lǜ）風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確（què）額定濾速是多少（shǎo）.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏（lǐ）所（suǒ）隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝（níng）結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過（guò）濾為單分（fèn）散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出他（tā）們使用的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采（cǎi）用後麵（miàn）四種進（jìn）行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒徑值。其（qí）實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的粒子數量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用（yòng）單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正（zhèng）的單（dān）分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽（me）認為了。

對於多分散相就（jiù）不是（shì）這麽回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意（yì）的是在上（shàng）下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏（lǐ）麵（miàn）的全部或者部分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發（fā）現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍（wéi）的最大值與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器（qì）有一個測量精度問題。大（dà）家知道的一般是測量分（fèn）段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是（shì）大部分廠家或（huò）者測試（shì）方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之（zhī）間的總（zǒng）數作為計量基礎（chǔ）。

根據EN1822要求,最好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間（jiān）。但是規範也可以要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行（háng）計量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子分析（xī）儀,應該（gāi）可以在其中三（sān）個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底（dǐ）怎麽（me）選根據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第（dì）二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的光度計,它不能計數。因此（cǐ）可（kě）以用在（zài）DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以（yǐ）測數量。不（bú）過需要（yào）說明的是不能（néng）認為它什（shí）麽粒徑都能測（cè）,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出（chū）來的（de）,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒（lì）徑,所以這更（gèng）加（jiā）說（shuō）明了（le）是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其（qí）測試質（zhì）量濃度就可以（yǐ）了,而對於高要求的U15以上（shàng）要求（qiú）用粒（lì）子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的那一（yī）個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於大部分（fèn）的（de）項目而言,還是（shì）使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要（yào）測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試（shì）的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結果分（fèn）析（xī）采用了泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果（guǒ）。

參考（kǎo）資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了（le）統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差（chà）/幾何標準差