陝西hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解（jiě）還是停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端（duān）的（de）高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還（hái）是不太了解的！

比如效（xiào）率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過（guò）濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介（jiè）紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在（zài）MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的（de）兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單（dān）分散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就（jiù）是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒（lì）子占有的數量權重雖然小（xiǎo）,但（dàn）是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似（sì），不能（néng）完全等同。

3).新版的（de）EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高（gāo）效（xiào）係列（liè）,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一（yī）個區間範（fàn）圍（wéi）內的所有粒子數量總和;同時也要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要（yào）明確額（é）定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之內的所有（yǒu）粒（lì）子總數（shù）。這（zhè）裏所（suǒ）隱（yǐn）含的條件（jiàn）是氣溶膠的（de）發塵應該正好（hǎo）落在（zài）這（zhè）個範圍之內,而且（qiě）粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化（huà）],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他（tā）們（men）使用的是第一種（zhǒng）和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更（gèng）加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量（liàng）一個（gè）粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量（liàng）全（quán）部加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子（zǐ）數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單（dān）分散相還（hái）是有各種（zhǒng）粒徑（jìng）分布的。隻（zhī）要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散（sàn）相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試（shì）的時候要求同時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的是在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測（cè）量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者（zhě）部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一（yī）般坐（zuò）落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求（qiú）下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部分（fèn）。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際（jì）的（de）結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結（jié）果（guǒ）0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據（jù）EN1822要求,最好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子（zǐ）分析儀（yí）,應該可（kě）以在其中三（sān）個分段（duàn）裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的（de）粒子（zǐ）或者部分的（de）粒子。到（dào）底怎麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上（shàng）是（shì）對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一（yī）種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用（yòng）粒子計數（shù）器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可（kě）以測數量。不過需要說明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析（xī）的一清二楚. 因此（cǐ）實際的接收粒子MPPS是在一（yī）段（duàn）粒（lì）徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來（lái）的,而不是（shì）實際測出來的。規（guī）定要求測（cè）至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒子發生器（qì）來測試。因此其實（shí）找到的不（bú）是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出（chū）某一（yī）段粒徑之間而絕不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但（dàn）是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要（yào）求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是（shì）合理的.因為（wéi）這裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還（hái）是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方（fāng）法

對於H10以（yǐ）上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方（fāng）法上麵已經（jīng）有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間（jiān）粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是（shì）樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分（fèn）析采用了泊（bó）鬆分布的95%置信區間的結果（guǒ）。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當中提到（dào）了統計學（xué）相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差（chà）/幾何標準差