如(rú)何判斷均流膜(mó)高效送風口的均流性能是否達標?
判斷均流膜高效送風口(kǒu)的均流性能是否達標,需要結合氣(qì)流分布均勻性(xìng)、風速穩(wěn)定性、潔淨度維持能力(lì)等核心指標(biāo),通過專業檢測與實際運(yùn)行觀察相結合的方式進行。以下是具體的判斷方法和標準:
均(jun1)流性能的核心(xīn)是氣流(liú)在送風口下方形成穩定、均(jun1)勻的氣流場,避免局部風速過高、過低(dī)或湍流,從而保證潔淨室的潔淨度和(hé)工藝穩定性。具體檢測方法如下(xià):
檢測工具:高精度熱球風速儀(精度(dù)≥±0.05m/s)、風速(sù)巡檢儀。
檢測方法:
在送風口正下(xià)方一定距離(通常為 300mm、600mm 或根據潔淨室工藝要求設定)的平麵上,按照網格法布置測(cè)點(如 5×5 或(huò) 7×7 網格,間距≤300mm)。
逐點測量風速,記錄數(shù)據(jù)並計算風速偏差率:
風速偏差率 =(某點風速 - 平均風速)/ 平均風速 × 100%
達標標準:
各測點風速偏差率應≤±15%(嚴格潔淨室如 A 級、B 級要求≤±10%),且平均風速需符合設計值(zhí)(通常潔淨室送風口風速為 0.3~0.5m/s,具體按工藝要求)。
檢測工具:煙霧發生器(如發煙筆、氣溶膠發生器(qì))、高速攝像機(jī)(可選)。
檢測方法:
在送風口下方釋放煙霧,觀察氣流是否(fǒu)呈層流或均勻擴散(sàn)狀態,無(wú)明顯渦流、死角或偏流。
達標標準:
煙霧擴散均勻,無局部聚集或快速(sù)沉降,氣流方向與設計一致(如垂直單向流、水平單向流),且能覆蓋送風(fēng)口對應的潔淨區域。
檢(jiǎn)測工具:差壓計(精度≥±2Pa)、風量罩。
檢測方法:
測量(liàng)送風口與相鄰區域的靜壓差(確保送風口出風壓力穩定,避免因壓力波動導(dǎo)致氣流(liú)紊亂)。
用風量罩測量送風口總風量,與設計風量(liàng)對比,偏差應≤±10%。
關聯邏輯:
風量不穩定或(huò)壓力波動會直接影(yǐng)響均流性能,需先確保風量和壓力達標,再判斷氣流均(jun1)勻性。
除了首次安裝後的檢測,還需通過長(zhǎng)期運行觀察判斷均流性能是否(fǒu)持續達標(biāo):
潔淨度監測
定期檢測送風口覆蓋(gài)區域的(de)懸浮(fú)粒子(zǐ)濃度(如 ISO 5 級潔淨室要求≥0.5μm 粒子≤3520 個 /m)。若局部區域粒子濃(nóng)度異常升高,可能是均流性能下降(jiàng)(如局部風速不足導致汙染物沉(chén)積)。
溫濕度均勻性
均流性能差會導致局部溫濕度偏差過大。通過多點溫濕度計測量(liàng),若(ruò)送風口下方區域溫濕(shī)度偏差(chà)超過設(shè)計值(如 ±1℃、±5% RH),可能與(yǔ)氣流分布不均相關。
均流(liú)膜(mó)狀態檢查(chá)
均流膜的破損(sǔn)、變形、積(jī)塵會直(zhí)接破壞均流性能:
目視檢查均流膜是(shì)否平整,有(yǒu)無褶皺、撕裂或孔洞;
檢查(chá)膜表麵是(shì)否積塵過(guò)多(可通過壓差(chà)變化輔助判斷:當均流膜前後壓差超過初始值的 50% 時,可(kě)能因(yīn)堵塞(sāi)導致氣流分布不均)。
判斷均流(liú)性能需符合行業標(biāo)準,常見依據包括:
GB 50591-2010《潔淨(jìng)室(shì)施工及驗收規範》:明確要求送風口氣流速度均勻,偏(piān)差不超過規定範圍(wéi);
ISO 14644-3《潔淨室及相關受控環境 第 3 部分:檢測方法》:規(guī)定(dìng)了氣流可視化和風速測量的標(biāo)準流程;
設備廠商提供(gòng)的技術參數:如均流膜的設計風速範圍、推薦的維護周期等。
判斷均流膜高效送風(fēng)口的(de)均(jun1)流性能是(shì)否(fǒu)達標,需通過風速均勻性檢測(偏差率≤±15%)、氣流流型觀(guān)察(無渦(wō)流 / 偏流)、風量(liàng)與壓力穩定性三大核心手段(duàn),結合長期運行中的潔淨度、溫濕度數據及均流膜狀態綜合評(píng)估。若檢測結果符合設計要求和行業標準,且運行中無局部汙染(rǎn)或工藝異常,則(zé)可判定均流性能(néng)達標。








