迪慶hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的（de）A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方（fāng）法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整理的一些筆記，針對高（gāo）效過濾器的一（yī）些（xiē）詳細介紹。

不太懂（dǒng）的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前（qián）國家上通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖（tú）中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整體的5倍這當然是在MPPS 的粒（lì）徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中（zhōng）的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶（róng）膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的（de）氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單（dān）分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內（nèi）的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子（zǐ）大於這個（gè）值（zhí）.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完（wán）全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種玻璃（lí）纖（xiān）維做實驗（yàn）室測試（shì）的（de）。需要（yào）至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一（yī）個值。從商（shāng）業（yè）角度而言,氣（qì）溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒徑粒子,從（cóng）標準差而（ér）言.σ1.5為多分散。需要注意（yì）的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結（jié）果和粒徑沒（méi）有關係.因此国产乱子伦一区二区三区可（kě）以認（rèn）為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候不（bú）是（shì）針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測試（shì）一個區間範圍內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也要說明的是不（bú）同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總數（shù）。這裏所（suǒ）隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器（qì）可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保（bǎo）證有單分散相（xiàng）粒徑發出。

壓縮空氣多分散（sàn）熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電（diàn）移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定（dìng）

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的（de）是第一種和第（dì）二（èr）種,用（yòng）光度儀測（cè）試質量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更加（jiā）合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分（fèn）散相也不是真正的單分散相還（hái）是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了。

對於多分（fèn）散相就不是（shì）這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求（qiú）同時測粒子粒（lì）徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量（liàng）即可。

舉例來（lái）說（shuō）明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個（gè）測量精度（dù）問題。大家知道的（de）一般（bān）是測量分段（duàn）為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分（fèn）廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計（jì）量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最（zuì）好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應（yīng）該可以在其（qí）中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分（fèn）析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別是（shì）在（zài）現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑（jìng）分（fèn）析計數器（qì）,它既可以測粒（lì）徑也可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子（zǐ）MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低（dī）MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低（dī）點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測（cè）試出（chū）某一段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對（duì）於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而（ér）對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因（yīn）此其實導（dǎo）致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求了。因此要求現場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理（lǐ）的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的（de）項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法（fǎ）

對於H10以上的就需（xū）要測試（shì）MPPS了,對於測（cè）試（shì）方法上（shàng）麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析

由於現場測試的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實（shí）際的結（jié）果分析采用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到（dào）了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差