錫林郭勒盟hepa高效過濾器

其實很（hěn）多人對於高效過濾器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對（duì）於高效過濾（lǜ）器的一些特性（xìng）還是不太了（le）解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其（qí）濃度（dù）不低於99.97%為美（měi）國的A級別高效過（guò）濾器,這句話的詳細意思其實並沒（méi）有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看（kàn）黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的（de）使用來（lái）源於美（měi）國軍方（fāng）, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上（shàng）通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張（zhāng）表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要（yào）認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對（duì）0.3um的（de）要求.其（qí）實這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一（yī）個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒（lì）們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不（bú）能完全等同（tóng）。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對（duì）某一種濾料,比如某一種（zhǒng）玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最（zuì）易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出（chū）的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準（zhǔn）差而（ér）言.σ1.5為多分散。需（xū）要注意的是（shì）這個（gè）標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此国产乱子伦一区二区三区可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試（shì）的（de）時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總（zǒng）和;同時也要說明的（de）是不同（tóng）的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多（duō）少.

5).對於（yú）實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵（chén）應該正好（hǎo）落（luò）在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣（qì）多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看（kàn）出他（tā）們使用（yòng）的是第（dì）一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加（jiā）起來作為MPPS的（de）數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根（gēn）據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散相粒子在測試（shì）效率的時候是不計（jì）量粒（lì）子分徑（jìng）的。直接把所（suǒ）有的粒子數量（liàng）加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有（yǒu）各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在（zài）MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分（fèn）粒子（zǐ）數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最大（dà）值與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一（yī）個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因（yīn）此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的光學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子（zǐ）或者部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀（yí）來（lái）。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑量標準。

以上是對多分散粒（lì）子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方（fāng）法。

一種是用於測定（dìng）質量濃度的光度計,它不能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它（tā）既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需要（yào）說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段（duàn）測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的一清二（èr）楚（chǔ）. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一（yī）段（duàn）粒徑之間的（de）。上麵已經說過（guò）了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出來的,而不是實（shí）際（jì）測（cè）出（chū）來的。規定要（yào）求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因（yīn）此其實找到（dào）的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這（zhè）更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因（yīn）此要求現（xiàn）場的（de）測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結（jié）果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以（yǐ）上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是（shì）樣（yàng）本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了（le）泊鬆分（fèn）布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中（zhōng）提到了統計學相（xiàng）關知識,包（bāo）括泊鬆（sōng）分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差