新（xīn）餘（yú）用塵埃粒子（zǐ）計數器對高效過濾器檢測檢漏方法

用塵埃粒子計數器對高效過濾器檢測檢漏方法（fǎ）及檢（jiǎn）測檢漏標準：用大氣塵為塵源與粒子計數器配合，對高效過濾器作檢漏檢查。打開風機，在離高效過濾器表麵25mm處采用塵埃粒子（zǐ）計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm /s，檢（jiǎn）測出0.5μm的微（wēi）粒數不得超過3500粒（lì）/m3。

塵埃粒子計數器高效過濾器檢漏方法：

潔淨度級別（bié）等於或高（gāo）於100級的潔淨車間的高效過（guò）濾器安裝前必須作現場檢漏，重點是檢查過濾（lǜ）器有無破損漏泄等自身（shēn）質量。

所（suǒ）有級別（bié）的潔淨車間，都要求對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在現行規範沒有給出檢（jiǎn）查數量時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空（kōng）氣過濾器（qì）邊框密封質量。

高效過濾器檢（jiǎn）漏常（cháng）用的儀器有:塵埃粒子（zǐ）計數器和5C氣（qì）溶膠（jiāo）發生（shēng）器。

用於測量潔淨環境中單位（wèi）體積空氣內的塵埃粒子大小及數目，可直接檢測潔（jié）淨度等級為十級至三十萬級的潔淨環境。體積小（xiǎo）、重量輕、檢測（cè）精度高、功能操作簡單明了，微處理器控製（zhì），可貯存、打印測（cè）量結果，測試潔淨環境十分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣溶膠發生器能產生一致的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時（shí）能提供足夠的挑戰粒子（zǐ）去測（cè）量高效過濾係（xì）統。

潔淨室高效過濾器粒子（zǐ）計數（shù）器法（fǎ）檢漏的一般規定

（1）被檢過濾器（qì）必須已測過風量，在設計風速的（de）80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效過濾（lǜ）器上（shàng）風側測定大氣塵的（de）微粒數，以大於或等於0.5ΜM微粒為準（zhǔn），其濃度必須大於或（huò）等於3.5×`10^4`粒/L；若檢測（cè）超高效過濾器，則（zé）以大於或等於0.1ΜM微粒為準，其濃度必須大於或等於3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符合上項規定，則應（yīng）引入不經過濾（lǜ）的（de）空氣，如果還達不到規定，則不宜用粒子（zǐ）計數器法和凝結核計數器法檢（jiǎn）漏。

（4）檢漏時將采樣口放（fàng）在距離被檢過濾器表麵2～3CM處，以5～20MM/S的速度移（yí）動，對被檢（jiǎn）過濾器整個斷麵、封頭膠和安裝框架（jià）處進行掃描。