棗莊（zhuāng）hepa高效過濾器
其實很多人（rén）對於高效過濾器的（de）了解還是停留在表麵上的，
比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！
比如效率為（wéi）針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高（gāo）效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多少人（rén）思（sī）考（kǎo）！
比如MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子（zǐ）的尺寸是什麽？
下麵的內容則是我自己以前整理的一些（xiē）筆記，針（zhēn）對高效（xiào）過濾器的一些詳細介紹（shào）。
不（bú）太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！
1.從HEPA高效過濾器效率說起
HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器
最早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優化自身規範和標（biāo）準
目（mù）前國家上（shàng）通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。
IEST規定（dìng）對（duì）於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要（yào）在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿（chuān）透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS
的粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:
1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中徑,也（yě）就是（shì）所有的氣溶膠粒徑（jìng）分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.
因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個規定（dìng）要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的（de）,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;
2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中（zhōng）徑,也就（jiù）是有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大（dà）顆粒的粒子占（zhàn）有（yǒu）的數量權重雖然小,但是質量權重很大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完（wán）全等同。
3).新版的（de）EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入（rù）高效係列,不同於以前的EN1822-2000;
4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維（wéi）做實驗室（shì）測試的。需要至少做5次重複試驗。每（měi）次試驗（yàn）均要（yào）發單[準]分散相或者多分散相的粒子（zǐ）,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點（diǎn）。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒（lì）徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為（wéi）多分散。需（xū）要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是計算結果（guǒ）和粒徑沒有關係.因此（cǐ）国产乱子伦一区二区三区（men）可以認（rèn）為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的（de）所有粒子數量（liàng）總和;同時也要說明（míng）的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定濾速是多少.
5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個（gè）範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;
2.氣溶（róng）膠發生器
氣溶膠發生（shēng）器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出。
壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM
空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM
Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05
Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05
自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5
氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩（wěn）定
從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試（shì）質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不（bú）可能直接測量一（yī）個粒徑（jìng）值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起（qǐ）來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。
根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率（lǜ）的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在（zài）一起就可以作為上（shàng）下遊（yóu）分（fèn）別的（de）粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意（yì）的是單分散相（xiàng）也不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。
對於多分散相就不是（shì）這（zhè）麽回事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時（shí）候要求（qiú）同時（shí）測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部或者部分粒子數量即可。
舉例來說（shuō）明（míng）:現（xiàn）在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者（zhě）部分。這是因為實（shí）際的光學粒子計（jì）數器有一個（gè）測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實（shí）際的結果是大部分廠家（jiā）或者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作（zuò）為計量基礎。
根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在
MPPS/1.5-MPPS*1.5
MPPS/2-MPPS*1.5
MPPS/1.5-MPPS*2
這三種情況下進行計（jì）量。
考（kǎo）慮到實（shí）際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三（sān）個分段裏麵（miàn）任（rèn）選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選（xuǎn）根據（jù）實際的粒子分（fèn）析儀來。實際的工程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段（duàn）發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。
以上（shàng）是（shì）對多分散粒子測試時候的分析與說明。
3:接收方法
一（yī）般有（yǒu）兩種方法。
一種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能（néng）計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵（miàn）特別（bié）是在現場的時候；
另外一種是用（yòng）粒子計數器或者粒徑分析計數器（qì）,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是（shì）不能認為它什（shí）麽（me）粒徑（jìng）都能（néng）測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。
這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最（zuì）低（dī）點MPPS。這種方（fāng）法隻能（néng）用單（dān）分散相的粒（lì）子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一（yī）粒徑,而是一個區間;
並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說明了是粒子分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一（yī）粒徑的;
4. IEST的測試方（fāng）法
對於H13和H14,IEST要求對（duì）於（yú）其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。
對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其（qí）實（shí）導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的測試質（zhì）量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實驗室（shì）要求低了。
對（duì）於（yú）大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。
5. EN1822測試方法
對於（yú）H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對於測試方法（fǎ）上麵（miàn）已經有說明,總體而（ér）言就是（shì）測（cè）包含MPPS的（de）一段區（qū）間粒徑的數量;
6:對測試結果的分析
由於現場測試的隻能是樣本（běn）,而且（qiě）不可能全部都測.因此實際的結果分析采用（yòng）了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。
參考資料
IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學（xué）相關知（zhī）識,包括泊鬆分布（bù）/95%置（zhì）信區（qū）間/標準差/幾（jǐ）何標準差
