有什麽方法來（lái）提高潔淨室能源利用率

      有什麽方法來提高潔淨室能源利用率（lǜ）

      或許潔淨室過度（dù）建設和過高標準的現狀即將成為過去，至少，目前Lawren Berkeley Labs能源項目（mù）的研究員及經理Tengfang（Tim）Xu有辦法改變現狀。“理論上講，氣流速度每提高10%，風扇的能耗將增加30%。如果將（jiāng）各種設備等（děng）比例縮減到足夠維持汙染控（kòng）製的低能耗，將節省大量的（de）能源。”作為環境科學與（yǔ）技術學院（IEST）“走近專家”係列課程的一部分，Xu近通過網絡開設（shè）了“潔淨室（shì）設計與運營的（de）可持（chí）續發展問題”。課程針對潔淨室和微（wēi）環境（ME）的規劃、設計（jì）、建設、運營直到退出，從可持（chí）續發展角度提出了一（yī）些（xiē）列建議和指導方針（zhēn）。   

      生產設備通常（cháng）消耗整個（gè）潔淨室1/3的能量，冷卻和泵浦係統再消耗20%，空氣循（xún）環係統消耗另外的20~30%。剩餘的部分用於支持去離子水和其它生產用水的水泵、排氣扇、氮（dàn）氣生成設（shè）備及其它輔（fǔ）助設備。潔淨室不同區域實際空氣流速和氣體交換率可以存在很大差別，有些區域要求單向（xiàng）氣（qì）流，而其（qí）它（tā）區域則不然。   

      Xu給出了一些實際的（de）例子：幾乎（hū）一半潔淨等級為4級的潔淨室還有（yǒu）一部分潔淨等級為3級（jí）的ME都存在標準過高的問題，主要表現在當前工（gōng）業準則中 ME的推薦氣體流速和壓強差。對風（fēng）險的恐懼和過（guò）於（yú）保守的設計（jì）思想是造成這種標準過高的原因。常見的想法就是既然（rán）某種方案從前可以工作，為（wéi）什麽（me）還（hái）要去改變呢？Xu提出在潔淨室（shì）規劃（huá）階段（duàn）采用分級收集信息的方法，這樣可以對計劃的決（jué）策提供指導，並把能源消耗作為一項重要的參數考慮進去。同時，針對某些特定係統，Xu給出了一（yī）些建議方法（表），這些方法（fǎ）已被更新到IEST-RP-CC012.2中。他（tā）說：“更好地（dì）利用能源，會改（gǎi）善環境（jìng）質量（liàng）。對於潔淨室來說，從一個產業的角度考慮，能源利（lì）用率、設備穩定性、生產效率以（yǐ）及未來的指導方針都會對現行方法產生很大影響。”    

      同時，Xu還鼓勵讓整個流程中的人員參與決策，共同確定諸如：係統的規模（工藝、機械以及電氣相關人（rén）員），低氣壓壓力損失（機械和（hé）結構設計人員），和（hé）設（shè）定具（jù）有實際意義的氣體流速要求（機械和控製人員）。    

      在另一個實際例子中：Xu選擇了12種不同型號4×2英尺的風扇，通過比較其能源利用率，發（fā）現不同型號之間存在很大差別，有些甚至不（bú）能在要（yào）求的工作區間內正（zhèng）常（cháng）工作。對於（yú）HVAC空氣係（xì）統，需要考慮的測試項目包括：低氣壓壓力損失（shī）、適當的空氣循環係統、空氣交（jiāo）換率、用量控製過濾、風扇效率、風扇過濾單元以及排氣係統優化。Xu指出（chū），通過（guò）優化ME和潔淨室的空氣流，在（zài）保持對顆粒有效過濾的情況（kuàng）下，能量消耗可以降低10~85%。 

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